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电子显微镜的分辨率

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0.1到80纳米。电子显微镜的分辨率受到多个因素的影响,包括电子束的波长、电子透镜的数值孔径、样品的制备和电子与样品的相互作用等,对于透射电子显微镜,分辨率在0.1纳米到0.8纳米之间,这意味着可以分辨单个原子或原子团,对于扫描电子显微镜,分辨率在1纳米到80纳米之间。
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